Фоторезистке шолу
Фоторезист, сондай-ақ фоторезист деп те аталады, ультракүлгін сәулеге, электронды сәулелерге, иондық сәулелерге, рентген сәулелеріне немесе басқа сәулеленуге ұшыраған кезде ерігіштігі өзгеретін жұқа қабықшалы материалды білдіреді.
Ол шайырдан, фотоинициатордан, еріткіштен, мономерден және басқа қоспалардан тұрады (1-кестені қараңыз). Фоторезист шайыры мен фотоинициатор фоторезист өнімділігіне әсер ететін ең маңызды компоненттер болып табылады. Ол фотолитография процесінде коррозияға қарсы жабын ретінде қолданылады.
Жартылай өткізгіш беттерді өңдеу кезінде тиісті селективті фоторезистті пайдалану бетте қажетті кескінді жасай алады.
1-кесте.
| Фоторезист құрамы | Өнімділік |
| Еріткіш | Ол фоторезистті сұйық және ұшқыш етеді және фоторезисттің химиялық қасиеттеріне іс жүзінде әсер етпейді. |
| Фотоинициатор | Ол сондай-ақ фотосенсибилизатор немесе фотоқатайтушы агент ретінде белгілі, фоторезист материалындағы фотосезімтал компонент. Бұл белгілі бір толқын ұзындығындағы ультракүлгін немесе көрінетін жарық энергиясын сіңіргеннен кейін мономерлерде бос радикалдарға немесе катиондарға ыдырайтын және химиялық көлденең байланыс реакцияларын бастайтын қосылыс түрі. |
| Шайыр | Бұл инертті полимерлер және фоторезисттегі әртүрлі материалдарды бірге ұстап тұру үшін байланыстырушы заттар ретінде әрекет етеді, бұл фоторезистке механикалық және химиялық қасиеттер береді. |
| Мономер | Ол сондай-ақ белсенді еріткіштер ретінде белгілі, полимерленетін функционалдық топтары бар шағын молекулалар және жоғары молекулалық салмақты шайырлар түзу үшін полимерлену реакцияларына қатыса алатын төмен молекулалық салмақты қосылыстар. |
| Қоспа | Ол фоторезисттердің нақты химиялық қасиеттерін бақылау үшін қолданылады. |
Фоторезисттер түзетін кескінге байланысты екі негізгі санатқа жіктеледі: оң және теріс. Фоторезист процесінде, экспозиция мен дамудан кейін, жабынның ашық бөліктері еріп, экспозицияланбаған бөліктері қалады. Бұл жабын оң фоторезист болып саналады. Егер экспозицияланбаған бөліктер еріген кезде ашық бөліктер қалса, жабын теріс фоторезист болып саналады. Экспозиция жарық көзі мен сәулелену көзіне байланысты фоторезисттер одан әрі УК (оң және теріс УК фоторезисттерін қоса алғанда), терең УК (DUV) фоторезисттері, рентген фоторезисттері, электронды сәуле фоторезисттері және иондық сәуле фоторезисттері болып жіктеледі.
Фоторезист негізінен дисплей панельдерінде, интегралдық схемаларда және дискретті жартылай өткізгіш құрылғыларда ұсақ түйіршікті үлгілерді өңдеуде қолданылады. Фоторезист өндірісінің технологиясы күрделі, өнім түрлері мен сипаттамаларының алуан түрлілігімен ерекшеленеді. Электроника өнеркәсібінің интегралдық схема өндірісі қолданылатын фоторезистке қатаң талаптар қояды.
Фотоқалпына келтірілетін шайырларды өндіру және әзірлеу саласында 20 жылдық тәжірибесі бар өндіруші Ever Ray компаниясының жылдық өндіріс қуаты 20 000 тонна, кешенді өнім желісі және өнімдерді жекешелендіру мүмкіндігі бар. Фоторезистте Ever Ray негізгі компонент ретінде 17501 шайырын пайдаланады.
